在芯片的制造過程中,需要給晶圓涂上光刻膠,再用光刻機進行刻錄。而光刻膠按照工藝的不同,也分為分別為g線、i線、KrF、ArF、EUV。
g線、i線主要用于250nm以上工藝,相對落后;KrF一般用于250nm-130nm工藝;ArF一般用于130nm-14nm,最多可以用于7nm DUV工藝;EUV光刻膠就是配合EUV光刻機,主要用于7nm及以下工藝。
在光刻膠領(lǐng)域,國內(nèi)是比較落后的,總體自給率不足10%,其中分開來看,g線/i線自給率約為20%,KrF光刻膠的自給率不足5%,至于ArF、EUV光刻膠,不好意思,無法生產(chǎn),100%得靠進口,自給率為0%。
而日本是全球光刻膠領(lǐng)域最牛的國家,在g線/i線、KrF、ArF、EUV膠市場中市占率分別為61%、80%、93%,100%。
所以日本廠商的光刻膠是全球的緊缺貨,一旦日本不供應(yīng)光刻膠,全球的芯片產(chǎn)業(yè)都要受到影響。
而近日,這樣的事情終于發(fā)生了,據(jù)媒體報道稱,由于KrF光刻膠產(chǎn)能受限,而全球芯片產(chǎn)能卻不斷擴產(chǎn),再加上2月份的日本福島地震,影響了光刻膠的產(chǎn)能。
所以日本的信越化學(xué)開始中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,甚至開始向部分中小晶圓廠停供KrF光刻膠,后續(xù)可能還會有更多的廠商,甚至?xí)可娴紸rF光刻膠的供應(yīng)。
而KrF用于250nm-130nm工藝,ArF用于130nm-14nm工藝,這也正是國內(nèi)眾多晶圓廠使用的工藝,業(yè)內(nèi)人士預(yù)測未來國內(nèi)多家晶圓廠或?qū)⒚媾RKrF、ArF光刻膠大缺貨的處境。
目前中國正在大力發(fā)展半導(dǎo)體,不知道這件事情,有沒有讓大家感受到絲絲涼意?
事實上,在半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體設(shè)備等領(lǐng)域,目前國內(nèi)的產(chǎn)業(yè)鏈確實還是比較落后的,依賴國外的地方也比較多,所以接下來,我們不僅僅要發(fā)展芯片制造本身,還需要加強對上游材料、設(shè)備等的重視和投入,你覺得呢?