硅光子是一種令人振奮的技術(shù),是基于硅和硅基襯底材料(如 SiGe/Si、SOI 等),利用現(xiàn)有 CMOS 工藝進行光器件開發(fā)和集成的新一代技術(shù),結(jié)合了集成電路技術(shù)的超...
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