作者:張國(guó)斌(ID:eetrendrichard)
美國(guó)新任總統(tǒng)拜登上臺(tái)以后,制定了與特朗普時(shí)代不同的封堵中國(guó)半導(dǎo)體的策略---就是聯(lián)合歐洲日韓盟友一起封堵中國(guó),同時(shí),美國(guó)依然不斷將中國(guó)有核心技術(shù)的公司納入實(shí)體名單進(jìn)行打擊,所以,對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體業(yè)者來說,必須要加快實(shí)現(xiàn)自主可控全產(chǎn)業(yè)鏈的步伐。
這一點(diǎn),連全球光刻機(jī)龍頭ASML也看到了,近日,ASML CEO彼得·溫寧克(Peter Wennink)在一次線上研討會(huì)上表示對(duì)中國(guó)技術(shù)出口管制不僅不能阻止中國(guó)的技術(shù)進(jìn)步,反而會(huì)最終損害美國(guó)經(jīng)濟(jì)。
圖1| ASML CEO彼得·溫寧克
他說:“如果你向中國(guó)關(guān)閉最前沿技術(shù)的大門,也最終會(huì)讓非中國(guó)經(jīng)濟(jì)體丟掉大量工作和收入!彼J(rèn)為,目前中國(guó)缺乏最先進(jìn)的芯片制造技術(shù),需要一段時(shí)間才能打造自己的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備鏈,但非中國(guó)公司將有可能被排除在中國(guó)這一全球最大的芯片市場(chǎng)之外。
圖2|全球代工之父張忠謀
在本周臺(tái)灣地區(qū)的一個(gè)論壇上,有全球代工之父的張忠謀也指出目前大陸制造與臺(tái)灣差距5年以上芯片設(shè)計(jì)差距1到2年,他的講話被網(wǎng)友評(píng)論說:“看來我們與全球領(lǐng)先制造的水平還不是那么大,這我就放心了!”
是的,在2020年中國(guó)政府出臺(tái)《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策的通知》以后,中國(guó)在28nm工藝制造方面的研發(fā)在加速,很多公司都投入到解決28nm自主產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)隊(duì)伍中來了,在全民造芯的推動(dòng)下,本土半導(dǎo)體制造突破是早晚的事情,正如ASML CEO所說,中國(guó)已定義會(huì)打造出資金的設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈,去年我寫過一篇《兩年之內(nèi),中國(guó)將實(shí)現(xiàn)28nm芯片自主制造!》的文章,現(xiàn)在看來,這個(gè)速度還有可能加快,今年有望實(shí)現(xiàn)28nm公司制造國(guó)產(chǎn)化,我們可以從設(shè)備端和材料端來看看。
梳理28nm本土產(chǎn)業(yè)鏈
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)專家李珂去年年底在一次訪談中指出目前國(guó)內(nèi)擁有28nm及以下晶圓廠的企業(yè)包括中芯國(guó)際、上海華力微、合肥長(zhǎng)鑫等,目前國(guó)產(chǎn)設(shè)備可進(jìn)入28nm及以下晶圓制造產(chǎn)線的廠商包括華海清科、沈陽拓荊、盛美半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、中微公司、沈陽芯源、屹唐半導(dǎo)體、中科信、睿勵(lì)和廣立微等。
其中,北方華創(chuàng)在2018年實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)首臺(tái)銷售的ALD(原子層沉積設(shè)備),可實(shí)現(xiàn)28nm-14nm的FinFET等工藝要求;上海微電子宣布最快將在2021-2022年交付第一臺(tái)國(guó)產(chǎn)28nm工藝的國(guó)產(chǎn)沉浸式光刻機(jī);爍科中科信研發(fā)的中束流離子注入機(jī)達(dá)到了國(guó)外同類型設(shè)備水平,產(chǎn)品已經(jīng)批量進(jìn)入市場(chǎng),大束流離子注入機(jī)工藝覆蓋至28nm。
通盤來看國(guó)內(nèi)已經(jīng)基本具備了28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)完全國(guó)產(chǎn)芯片的量產(chǎn)能力,有些企業(yè)研發(fā)已經(jīng)取得了成就,甚至有些企業(yè)的產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)的生產(chǎn)線上已經(jīng)得到了應(yīng)用。在某些細(xì)分領(lǐng)域,國(guó)內(nèi)已經(jīng) 實(shí)現(xiàn)突破 。如中微半導(dǎo)體在介質(zhì)刻蝕領(lǐng)域已達(dá)到全球先進(jìn)水平,中微的蝕刻機(jī)也被臺(tái)積電所采用。
圖3| 上海微電子的光刻機(jī)
在28nm國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)——光刻機(jī)領(lǐng)域,目前已獲得國(guó)家的重大專項(xiàng)和企業(yè)的集中攻關(guān)。中科院院長(zhǎng)白春禮表示,將集中力量、集中優(yōu)勢(shì)聚焦國(guó)家最關(guān)注的重大科技技術(shù),其中就包括光刻機(jī),這意味著國(guó)家隊(duì)將出手幫助國(guó)內(nèi)芯片行業(yè)解決芯片制造難題。另外,有消息說上海微電子公司及那今年也可以交付通過沉浸式光刻實(shí)現(xiàn)28nm的光刻機(jī),將打破國(guó)外封鎖,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的空白,加速芯片國(guó)產(chǎn)化。 (以上來自李珂的訪談)
2月20日,北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司建設(shè)的集成電路供應(yīng)鏈及先導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心項(xiàng)目進(jìn)行環(huán)評(píng)公示,該項(xiàng)目總投資 51.37 億元,建筑面積約25382.1 m2。項(xiàng)目將建設(shè)集成電路國(guó)產(chǎn)驗(yàn)證中試線,為多個(gè)工藝驗(yàn)證及技術(shù)創(chuàng)新研發(fā)平臺(tái)提供場(chǎng)地及設(shè)施,產(chǎn)能為每月約3000片12英寸晶圓。據(jù)了解,該項(xiàng)目用于先進(jìn)圖像傳感器、65nm-28nm 及以下邏輯技術(shù)研發(fā)線的建設(shè),達(dá)到或接近國(guó)際同類產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo),主體生產(chǎn)工藝以65nm~28nm及以下制程為主。
圖4|半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈
英國(guó)調(diào)研機(jī)構(gòu)Omdia全年年底在一篇分析報(bào)告中指出中國(guó)國(guó)產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商在各個(gè)環(huán)節(jié)都開始有技術(shù)研發(fā),甚至已經(jīng)進(jìn)入商業(yè)化應(yīng)用,所以它估計(jì)中國(guó)會(huì)在1到2年(2021年)實(shí)現(xiàn)28nm工藝產(chǎn)業(yè)鏈自主。
從以上分析可以看出,本土公司基本已經(jīng)完成了28nm工藝產(chǎn)業(yè)鏈的布局,我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從0到1 的突破,不過,我們雖然有了從0到1的突破,但是有些環(huán)節(jié)的質(zhì)量還需要提升,有些領(lǐng)域差距還是比較大,但是只要有了突破,只要本土晶圓代工廠開始使用,形成完整閉環(huán),在使用中通過迭代實(shí)現(xiàn)升級(jí)就進(jìn)入了良性發(fā)展通道。
半導(dǎo)體專家莫大康也曾撰文指出要給本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商試錯(cuò)的機(jī)會(huì),他說半導(dǎo)體設(shè)備的研制過程一定從樣機(jī),經(jīng)過多次的改型,才逐漸成為產(chǎn)品銷售。對(duì)于任何新的產(chǎn)品,試錯(cuò)過程是必須的,試錯(cuò)的過程就是要及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題,經(jīng)過多次改型后,達(dá)到設(shè)備的出廠要求。
在本土化方面,老張呼吁芯片制造商對(duì)給本土設(shè)備信任和支持,當(dāng)然,國(guó)家也適當(dāng)給芯片制造商試錯(cuò)產(chǎn)生的成本給與一定的補(bǔ)助,不然,誰也不愿意當(dāng)小白鼠。
目前,我們看到,中芯國(guó)際作為中國(guó)代工業(yè)的龍頭已經(jīng)開始7nm工藝量產(chǎn),中芯國(guó)際在28nm工藝上也已經(jīng)逐漸成熟,良率與臺(tái)積電不相上下,而且中芯國(guó)際很多投資是面向成熟工藝,3 月 17 日,中芯國(guó)際發(fā)布公告稱將和深圳政府?dāng)M以建議出資的方式,經(jīng)由中芯國(guó)際集成電路制造(深圳)有限公司(下稱 “中芯深圳”)進(jìn)行項(xiàng)目發(fā)展和營(yíng)運(yùn),重點(diǎn)生產(chǎn) 28 納米及以上的集成電路并提供技術(shù)服務(wù),旨在實(shí)現(xiàn)最終每月約 4 萬片 12 吋晶圓的產(chǎn)能,預(yù)期將于 2022 年開始生產(chǎn),總投資153億!所以28nm將成為本土半導(dǎo)體承上啟下的一個(gè)重要工藝節(jié)點(diǎn)!
28nm工藝節(jié)點(diǎn)生命力很強(qiáng),臺(tái)積電再投資28nm!
其實(shí)28nm 工藝節(jié)點(diǎn)是個(gè)非常好的工藝節(jié)點(diǎn),它是體硅工藝最具性價(jià)比的節(jié)點(diǎn),28nm一般也是用來區(qū)分中低端和中高端芯片的關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn),目前市場(chǎng)普遍認(rèn)為,28nm 以上的為成熟制程,以下則為先進(jìn)制程。
相較于40nm及更落后制程,28nm工藝在頻率調(diào)節(jié)、功耗控制、散熱管理和尺寸壓縮方面具有顯著的優(yōu)勢(shì)。另一方面,由于20nm及更先進(jìn)制程采用FinFET技術(shù),維持高參數(shù)良率以及低缺陷密度難度加大,每個(gè)晶體管的成本都要高于28nm工藝所以28nm節(jié)點(diǎn)會(huì)有較長(zhǎng)的生命力,
圖5 | IBS認(rèn)為28nm制程市場(chǎng)占比將長(zhǎng)期穩(wěn)定(來源:IBS)
本土28nm如果可以實(shí)現(xiàn)全面國(guó)產(chǎn)化,則意味著可以滿足基本60%芯片的制造需求,覆蓋物聯(lián)網(wǎng)、智能家居、工業(yè)、車載電子、消費(fèi)電子等大部分領(lǐng)域的應(yīng)用,我們看到,臺(tái)積電目前28nm的工藝貢獻(xiàn)還是有較大比例的。
圖6| 臺(tái)積電工藝節(jié)點(diǎn)貢獻(xiàn)收入比例
所以,本土28nm產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化意義重大,也一定可以實(shí)現(xiàn),樂觀地話我們今年就可以實(shí)現(xiàn)!
我注意到,在本土28nm工藝將國(guó)產(chǎn)化的刺激下,臺(tái)積電也坐不住了,4月22日,臺(tái)積電董事會(huì)批準(zhǔn)了新的投資計(jì)劃,核準(zhǔn)28.87億美元(約合187億人民幣)擴(kuò)建南京工廠,生產(chǎn)28nm工藝,月產(chǎn)能為4萬片晶圓,主要用于汽車電子芯片。按照計(jì)劃,臺(tái)積電南京廠的28nm產(chǎn)能將于2022年下半年量產(chǎn),2023年中達(dá)到4萬片晶圓/月的滿載產(chǎn)能目標(biāo)。 目前臺(tái)積電的南京工廠主要生產(chǎn)16nm芯片,月產(chǎn)能約為2萬片晶圓,臺(tái)積電不去擴(kuò)充16nm產(chǎn)線卻投資一個(gè)更舊的工藝也說明這個(gè)工藝是非常有價(jià)值的!
如果我們實(shí)現(xiàn)了28nm國(guó)產(chǎn)化突破!,則14nm國(guó)產(chǎn)化突破也將為時(shí)不遠(yuǎn)!加油,中國(guó)半導(dǎo)體!
這里我也拋出一個(gè)話題:大家怎么看本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展?我們是否可以打造出獨(dú)立完整的產(chǎn)業(yè)鏈?歡迎討論。ú糠中畔碜灾酢⒕R、文中半導(dǎo)體廠商官網(wǎng)、前瞻經(jīng)濟(jì)學(xué)人APP、互聯(lián)網(wǎng)等)