對(duì)先進(jìn)工藝來說,ASML的光刻機(jī)必不可少,最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)售價(jià)將近10億元,投資巨大,而且購買EUV光刻機(jī)門檻也很高,全球也只有三家公司購買。
報(bào)道指出,目前ASML的EUV光刻機(jī)不是想買就能買的,半導(dǎo)體廠商需要有7nm及以下工藝的生產(chǎn)能力才行,目前主要就是臺(tái)積電、三星及Intel三家。
在ASML公司2020年簽訂的86臺(tái)EUV光刻機(jī)訂單中,臺(tái)積電最為霸氣,購買了44臺(tái),占了一半多,其次是三星,購買19臺(tái),Intel也購買了18臺(tái)。
當(dāng)然,這三家都是用于邏輯芯片生產(chǎn)的,如果考慮到內(nèi)存行業(yè),那么SK海力士也加入了EUV光刻機(jī)購買大軍,前不久與ASML簽訂協(xié)議,斥資43.4億美元購買EUV光刻機(jī)。
由于EUV光刻機(jī)極為昂貴,所以它的銷量在ASML中只占12%,但營(yíng)收缺占了45%,2023年的營(yíng)收甚至?xí)?020年提升一倍多。